[发明专利]一种氦质谱检漏系统在审
| 申请号： | 202110481966.1 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113483966A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 郑志超;邵海丰;孙钧成;齐沛瑶;毛燕 | 申请（专利权）人： | 杭州航天电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01M3/26;G01K13/00;G01K1/14 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 任林冲 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氦质谱检漏系统，包括高压氦气瓶、压力表、温度监测仪、试验工装、试验产品和氦质谱检漏仪，在试验工装的氦气进口处接入高压氦气瓶，试验产品置于试验工装中，试验工装出口处连接氦质谱检漏仪测试试验产品的真空漏率；通过调节高压氦气瓶开关来改变密封压力，压力表实时测量压力值；通过改变试验工装进口氦气源压力获得电连接器在不同工作压力情况下的密封漏率；温度监测仪实时监测试验产品的试验环境温度，将氦质谱检漏系统分别在293K常温、77K低温温区和550K高温温区下进行氦质谱检漏测试，从而获得电连接器在常温、低温、高温下的密封性能。本发明可同时满足常温,低温温区和高温温区氦质谱检漏试验要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氦质谱 检漏 系统 | ||
【主权项】：
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