[发明专利]用于蚀刻液循环再生系统的自动调药装置、方法及控制器在审
| 申请号： | 202110484210.2 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113106452A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郑健成;关家斌 | 申请（专利权）人： | 广东德同环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/46 |
| 代理公司： | 四川仓颉律师事务所 51329 | 代理人： | 曹华;张勇 |
| 地址： | 528203 广东省佛山市南海区九*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于蚀刻液循环再生系统的自动调药装置、方法及控制器。该自动调药装置包括：第一容器，第二容器，药料输送设备，以及控制器；第一容器，用于容纳补充药料；第二容器，用于容纳再生液，并接收补充药料，以进行组分调配；药料输送设备设置在第一容器与第二容器之间，用于将第一容器内的补充药料输送至第二容器中；控制器与药料输送设备通信连接，用于通过启动信号或者停止信号控制药料输送设备的启动或者停止，以从第一容器向第二容器输送指定量的补充药料，从而解决补充投料延迟较大，投料精确度低，导致再生后的蚀刻液蚀刻稳定性差，再生循环效率和蚀刻良品率较低等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 循环 再生 系统 自动 装置 方法 控制器 | ||
【主权项】：
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