[发明专利]显示背板、制作方法以及显示装置有效

专利信息
申请号: 202110489331.6 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113284910B 公开(公告)日: 2023-09-19
发明(设计)人: 方金钢;王庆贺;丁录科;胡迎宾;张扬;成军 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;H10K59/12
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 安凯
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请实施例提供一种显示背板、制作方法以及显示装置,显示背板包括衬底、薄膜晶体管和层间介质层,在栅极远离衬底的一侧,层间介质层包括层叠设置的第一介质层和第二介质层,第二介质层相对于第一介质层远离衬底;第二介质层的致密性低于第一介质层;层间介质层上设置有过孔,过孔在第二介质层的部分为湿刻结构,在第一介质层的部分为干刻结构。本实施例中,将层间介质层制作成不同致密性的叠层结构,低致密性的介质层位于外侧,采用湿刻制作过孔,高致密性的介质层位于内侧,在外侧湿刻完成后通过干刻继续制作过孔,从而得到具有湿刻结构和干刻结构的过孔,既可以避免光刻胶变性,有可以保证高均一性,从而提高显示背板的产品良率。
搜索关键词: 显示 背板 制作方法 以及 显示装置
【主权项】:
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