[发明专利]阀体结构及具有其的晶圆清洗系统有效
| 申请号： | 202110490830.7 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113217672B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 娄汉;庄武斌;张锐;沈玉柱 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F16K11/22 | 分类号： | F16K11/22;F16K1/38;F16K1/42;F16K27/02;F16K31/122;H01L21/67;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 谭玲玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。其中，阀体结构包括：阀座，具有进液口、出液口及过液口，过液口与喷液结构的喷液嘴连通；第一阀体组件，包括第一阀针，第一阀针设置在阀座内，以使进液口和过液口连通或断开连通；第二阀体组件，包括第二阀针，第二阀针可活动地设置在阀座内，以使出液口和过液口连通或断开连通；其中，当第一阀针运动至连通进液口与过液口的第一位置时，进入至进液口内的液体从过液口排出；当第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口内。本发明解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 阀体 结构 具有 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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