[发明专利]一种铂片靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110492699.8 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113231467B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 钱增杰;黄宇彬;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B21B1/40 | 分类号： | B21B1/40;C22F1/14 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铂片靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将铂锭在1050～1150℃保温0.8～1.5小时后进行第一轧制得到厚度为2～3mm铂片；第一轧制包括若干个循环轧制A，所述循环轧制A的轧制道次为8～12道次；所述循环轧制A的每个道次的轧制量为2.0～3.0mm；每完成一个循环轧制A于1050～1150℃进行保温；(2)将步骤(1)处理后的铂片进行退火处理，所述退火处理的方式为通过明火将步骤(1)处理后的铂片烧结成红色后冷却；(3)将步骤(2)处理后的铂片进行第二轧制得到厚度为0.07～0.10mm的铂片；所述第二轧制的每个道次的轧制量为0.10～0.30mm。本发明采用铂片靶材的制备方法制备得到的铂片靶材的厚度更小更均匀，而且开裂率较低，成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铂片靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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