[发明专利]一种氢气敏感元件及制备方法

摘要

一种氢气敏感元件及制备方法，氢气敏感元件包括：玻璃基底、钯金合金纳米粒子、聚四氟乙烯薄膜和聚甲基丙烯酸甲酯薄膜；制备方法包括：将聚四氟乙烯涂覆至玻璃基底上；再将聚电解质二烯丙基溶液、聚苯乙烯圆盘颗粒悬浮液依次滴在聚四氟乙烯薄膜表面上并冲洗，在聚四氟乙烯薄膜的表面制备铬膜，将聚苯乙烯颗粒剥离产生孔洞，并刻蚀；在孔洞中沉积金和钯；去除聚四氟乙烯薄膜和铬膜；将玻璃基底进行退火处理，形成钯金合金；在玻璃基底在上依次涂抹聚四氟乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯；本发明采用的钯金合金粒子对比于钯膜而言，减少了钯的使用量，来降低成本；聚四氟乙烯薄膜能够优化纳米颗粒比表面积、降低表面活化能、抑制迟滞现象，提高检测极限。