[发明专利]工装、利用工装制造均热板的制造方法以及均热板在审
| 申请号： | 202110516550.9 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113188357A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 江峰 | 申请（专利权）人： | 江西展耀微电子有限公司 |
| 主分类号： | F28D15/02 | 分类号： | F28D15/02;H05K7/20 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 么立双 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市临空经济区*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工装、利用工装制造均热板的制造方法以及均热板，工装包括第一连接管、第二连接管、用于控制第一连接管通断的第一控制阀以及用于控制第二连接管通断的第二控制阀。第一连接管与容纳腔连通，以对容纳腔抽真空，第二连接管与容纳腔连通，以向容纳腔内注入介质。根据本发明的制造均热板的工装，第一连接管用于对容纳腔抽真空，第二连接管用于对容纳腔注入介质，通过设置两个连接管分别用于抽真空和注入介质，可以便于自动化量产。同时，第一控制阀可以控制第一连接管的通断可以便于控制容纳腔的真空度，第二控制阀可以控制第二连接管的通断，可以便于控制容纳腔内的介质的量，以便于实现对均热板的容纳腔定量、定真空的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 工装 利用 制造 均热 方法 以及 | ||
【主权项】：
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