[发明专利]用于微电子装置的载带和相关方法在审
申请号: | 202110517579.9 | 申请日: | 2021-05-12 |
公开(公告)号: | CN114582775A | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | A·M·贝利斯;B·P·沃兹;C·L·贝利斯 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 王龙 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及用于微电子装置的载带和相关方法。用于微电子装置的载带可包含包含凹部的细长带体。所述凹部的大小、形状和位置设置成在其中收容相应的微电子装置。所述带体的材料的热膨胀系数和所述带体的邻近所述凹部的部分的构造允许所述带体响应于温度升高而膨胀并扩大由所述带体的温度升高的部分包围的凹部的至少一个尺寸。这种膨胀和扩大可允许所述凹部收容微电子装置,并且响应于所述部分温度从所述升高到降低,允许凹部收缩并使所述带体的邻近所述凹部的至少两个相对表面与所述微电子装置接触并保持所述微电子装置。 | ||
搜索关键词: | 用于 微电子 装置 相关 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造