[发明专利]长晶炉有效
| 申请号： | 202110524237.X | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113403677B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 黎志欣;逯占文;胡动力;李占贤 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人： | 刘林艳 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提出一种长晶炉，长晶炉包括坩埚，坩埚用于承载硅液，漏硅检测装置，漏硅检测装置设置在坩埚下方，漏硅检测装置包括：检测线，检测线为导电金属丝，检测线设置在坩埚正下方投影区域，并在坩埚的投影区域进行排布；检测单元，检测单元与检测线的入线端和出线端相连接，用于检测检测线的电性能参数值。通过在坩埚正下方投影区域设置漏硅检测装置，当硅液从坩埚中漏出，会直接滴落在检测线上，检测单元感知到检测线的电性能参数的变化，及时反馈给长晶炉，从而使得漏硅被实时监控，进而避免危险的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 | ||
【主权项】：
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