[发明专利]一种真空鼓总成有效
| 申请号： | 202110524721.2 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN112967960B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张德龙;孙斌;周亚棚;张喜华 | 申请（专利权）人： | 中科长光精拓智能装备（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H02K7/14 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种真空鼓总成，包括：真空鼓、密封装置；密封装置对真空鼓的非工作区域进行间隙密封。本发明采用间隙密封，大幅降低了对密封板和真空鼓材料的要求，提高了真空鼓的使用寿命；本发明采用非接触密封，大幅降低了密封板与真空鼓之间的摩擦力，从而降低了旋转电机功率的要求，减小了机构的功耗，也减小了机构体积；本发明的间隙的大小可调可控，从而保证最好的密封效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 总成 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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