[发明专利]确定探针卡异常的方法、装置、终端设备及存储介质有效
| 申请号： | 202110526012.8 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113393422B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 张露露;欧纲;付友良;李旺军;邓海军;王健;孔晓琳;李安平 | 申请（专利权）人： | 深圳米飞泰克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 龙欢 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例适用于晶圆测试技术领域，提供一种确定探针卡异常的方法、装置、终端设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取单片晶圆的晶圆图；将至少两片晶圆的所述晶圆图进行叠加，生成叠加晶圆图，所述至少两片晶圆属于同一批次；若所述叠加晶圆图具备预设图像特征，则确定所述探针卡存在异常。本申请实施例通过将探针卡测试多个晶圆产生的多张晶圆图叠加，生成叠加晶圆图；叠加晶圆图可以体现这些晶圆在测试中出现的相同问题，因此可以根据叠加晶圆图的图像特征确定属于探针卡的异常，这样不需要对探针卡重做差异评估也能及时发现探针卡的异常，也避免了因晶圆测试良率正常导致探针卡存在的问题被忽略。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 探针 异常 方法 装置 终端设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳米飞泰克科技股份有限公司，未经深圳米飞泰克科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110526012.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
