[发明专利]一种碳材料的表面刻蚀方法有效

专利信息
申请号: 202110526300.3 申请日: 2021-05-14
公开(公告)号: CN113429224B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 庞敏;曾甯;周晓妍;赵庆凯;桑培伦;王绪;李顺 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院材料研究所
主分类号: C04B41/91 分类号: C04B41/91;G21F9/28
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 吕玲
地址: 621700 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及的是放射性废物处理及材料制备改性技术领域,具体为一种碳材料的表面刻蚀方法。该方法包括如下步骤:碳材料表面喷涂刻蚀剂、热处理喷涂后的碳材料、水相氧化处理热处理后的碳材料。本发明利用高温驱使刻蚀剂从碳材料的表面向其表层渗透,并与碳原子结合生成可以被水性氧化剂完全溶解的碳化物,实现对表面碳层的刻蚀,能够起到选区刻蚀、深度可控刻蚀、碳层部分及完全刻蚀的效果。
搜索关键词: 一种 材料 表面 刻蚀 方法
【主权项】:
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