[发明专利]正型感光性树脂组合物、经图案化的抗蚀剂膜的形成方法及经图案化的抗蚀剂膜在审
| 申请号： | 202110532928.4 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113687573A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 松本直纯 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/008;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及正型感光性树脂组合物、经图案化的抗蚀剂膜的形成方法及经图案化的抗蚀剂膜。本发明的课题在于提供兼具优异的焦点深度特性和优异的分辨率的正型感光性树脂组合物、使用该正型感光性树脂组合物的经图案化的抗蚀剂膜的形成方法、和由前述正型感光性树脂组合物形成的经图案化的抗蚀剂膜。本发明的解决手段为，在包含碱溶性树脂(A)和含醌二叠氮基的化合物(B)的正型感光性树脂组合物中，使用以特定比率组合包含特定结构的2种含醌二叠氮基的化合物的含醌二叠氮基的化合物(B)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 抗蚀剂膜 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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