[发明专利]双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法在审
| 申请号： | 202110533194.1 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113284688A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 户家周;褚家宝;杨元才 | 申请（专利权）人： | 上海福宜纳米薄膜技术有限公司 |
| 主分类号： | H01C7/00 | 分类号： | H01C7/00;H01C17/242 |
| 代理公司： | 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 31384 | 代理人： | 黄裕 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法，在背板上的一侧刻蚀短精调线，在短精调线的垂直对应侧刻蚀长精调线，长精调线和短精调线的长度范围由所确定的目标电阻确定，在背板上的一侧刻蚀正导点，在正导点的垂直对应侧刻蚀负导点，正导点和负导点用于电阻连接外电路，在背板上的另一侧刻蚀滤波区，在滤波区的一侧刻蚀第一电阻区，在滤波区的另一侧刻蚀第二电阻区，通过添加第二条精调线，利用第二次精调，激光切割的短程性，在弥补第一次精调偏差阻值同时，大大减少了激光产生的热量，有效提高调阻的精确性，减小了现有技术中调阻时激光产生的干扰的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 双精调线 高温 薄膜 铂电阻 及其 方法 | ||
【主权项】：
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