[发明专利]一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器

摘要

本发明涉及硅制造设备技术领域，且公开了一种单晶硅生长炉用籽晶夹持器，包括钢丝绳。该单晶硅生长炉用籽晶夹持器，通过将重锤分为内重锤与外重锤两部分，籽晶与滑孔、阶梯孔配合，籽晶的底部与阶梯孔的下端配合，在钢丝绳带动旋转时，内重锤与外重锤的转速不同，被外重锤支撑的籽晶，在外重锤的带动下旋转，当籽晶的同轴度与外重锤不配合时，籽晶的上端旋转晃动幅度大，即籽晶的上端在旋转过程中，可以推动锁紧板移动，并在弹簧作用下回位，锁紧板的移动能够将空气通过单向阀一压到滑套外端，推动滑套移动，使得气压不断增加，锁紧板对籽晶的旋转不断限位，直至将籽晶上部分夹紧，当温度传导过来后，夹紧力更大。