[发明专利]芯片冲洗装置

摘要

本发明公开了芯片冲洗装置，包括外框体和冲洗池，所述外框体具有用于容纳所述冲洗池的内腔，所述冲洗池设置为能够进入或退出所述外框体的内腔；所述冲洗池的内部设有冲洗平台，所述冲洗平台的顶部用于装载芯片；所述外框体的顶部设有喷头，所述喷头包括用于向芯片表面喷洒冲洗液的液体喷头和用于向芯片表面吹气的气体喷头；所述冲洗池或喷头设有能够带动其移动的位置调整机构，所述位置调整机构用于调整所述喷头与冲洗平台的相对位置。该冲洗装置可以同时冲洗芯片的所有位点，保证各个位点冲洗的实际参数一致，每次冲洗的效果相同，其结构设计合理、易于操作和控制、作业效率高，可以有效节约冲洗液和气体。