[发明专利]一种信号线全包裹隔离的芯片、方法及芯片制造方法在审
申请号: | 202110546229.5 | 申请日: | 2021-05-19 |
公开(公告)号: | CN115377071A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 王巍 | 申请(专利权)人: | 圣邦微电子(北京)股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60;H01L23/498 |
代理公司: | 北京智绘未来专利代理事务所(普通合伙) 11689 | 代理人: | 赵卿 |
地址: | 100089 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种信号线全包裹隔离的芯片、方法及芯片制造方法,芯片100包括层叠设置的至少三层金属层,以及设置于至少三层金属层中对应位置上的多个功能性通孔;其中,分类信号线簇设置于中间金属层中,并基于隔离层与芯片中的其他信号线实现隔离,通过将嘈杂、普通和敏感信号线簇分别布置于芯片中的不同位置,并在嘈杂信号线外包裹高电平的金属线,在敏感信号线外包裹零电平的金属线,从而实现了将嘈杂、普通和敏感信号线簇隔离布置,以实现对嘈杂信号的隔离和对敏感信号的保护。 | ||
搜索关键词: | 一种 信号线 包裹 隔离 芯片 方法 制造 | ||
【主权项】:
暂无信息
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