[发明专利]搬运装置、搬运方法以及搬运系统在审
| 申请号： | 202110549804.7 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113715033A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 小宫路修 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J9/00;B25J9/16;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 徐丹;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 方法 以及 系统 | ||
【主权项】：
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