[发明专利]切割装置、切割方法以及切割带有效
| 申请号： | 202110555098.7 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN113290484B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 福家朋来;清水翼;西山真生 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京精密 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B24B49/12;B24B51/00;H01L21/304;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种切割装置(10)，其在隔着切割带(T)将工件(W)保持于工作台(12)的状态下，使通过主轴(20)旋转的刀片(18)与工作台(18)相对移动来进行切割加工，该切割装置(10)具备：切削痕检测部(52)，其检测在切割带(T)的未粘贴工件(W)的表面区域形成的切削痕的切削痕信息；以及控制部(56)，其基于切削痕检测部(52)检测到的切削痕信息来控制刀片(18)的高度，以使向切割带(T)切入的切入深度恒定。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 装置 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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