[发明专利]声波谐振结构、滤波器及声波谐振结构的制造方法在审
| 申请号： | 202110558790.5 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113328725A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 高智伟;杨骐玮 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/17;H03H9/56;H03H9/64;H03H3/02;H03H3/08;H03H9/13;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区藏龙岛*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种声波谐振结构、滤波器及声波谐振结构的制造方法，其中，所述声波谐振结构包括：衬底；依次层叠于衬底上的反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层；位于所述第二电极层上的保护层；其中，所述保护层与所述第二电极层之间形成有第一空腔；位于所述保护层上的第一强化层和第二强化层；其中，所述第一强化层与所述第一电极层电性连接，所述第二强化层与所述第二电极层电性连接，且所述第一强化层和所述第二强化层彼此不电性连接；所述第一强化层用于作为第一电极层的焊接层，所述第二强化层用于作为第二电极层的焊接层。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振 结构 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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