[发明专利]一种金属掺杂的二硼化锆薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110560481.1 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113293353B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 孟瑜;弥娟莉;刘明霞;张秀萍;徐可为 | 申请（专利权）人： | 西安文理学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明提供一种金属掺杂二硼化锆薄膜及其制备方法，以金属靶和ZrB |
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| 搜索关键词： | 一种 金属 掺杂 二硼化锆 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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