[发明专利]一种双真空泵体抛光液回收装置及方法有效
| 申请号： | 202110563181.9 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113231964B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 侯晶;刘世伟;许乔;陈贤华;张清华;蒙晨;郑楠;李海波;王健;刘民才 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B57/00;B24B1/00;B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 李康 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明适用于及光学元件加工领域技术领域，提供了一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。该装置可以实现抛光液无残留的高效回收，提高抛光液的稳定工作状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 抛光 回收 装置 方法 | ||
【主权项】：
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