[发明专利]一种镀膜设备在审
| 申请号： | 202110563826.9 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113308679A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 赵润;汪婷;官小雅 | 申请（专利权）人： | 赵润;汪婷;官小雅 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人： | 矫娅琳 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜设备，其不同之处在于：其包括样品固定架和分别在真空状态的进样室、传样室、第一镀膜室、及第二镀膜室，进样室、第一镀膜室、及第二镀膜室分别与传样室通过传样狭缝阀门连通或隔断；样品固定架内设置若干个巴条且漏出各巴条两侧的解理面；进样室内设置有输送装置，输送装置能将若干个样品固定架依次送入进样室内或送出设备外；传样室内设置有传样机构，传样机构能将输送装置上的各样品固定架依次转移到第一镀膜室内和第二镀膜室内后再送回输送装置上；第一镀膜室用于清洗各巴条两侧的解理面并镀制钝化膜；第二镀膜室用于在各巴条一侧钝化膜上镀制减反膜、另一侧钝化膜上镀制高反膜。本发明避免灾变性光学镜面损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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