[发明专利]一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线有效
| 申请号： | 202110563961.3 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113285223B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 苌磊;杨鑫;袁小刚;周海山;罗广南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01Q1/50 | 分类号： | H01Q1/50;H01Q3/26;H01Q1/48 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，包括有RF源(1)，π/2调相器(2)，加热天线a(3)，加热天线b(4)和绝缘管(5)。本发明中等离子体贯穿进入分立式离子回旋天线时，被天线激发的电磁场有效加热，同时在两端天线之间的π/2相位差下不断加速。该离子回旋加热天线可使电磁波与等离子体高效耦合，且等离子体不直接接触电极，具有较高的服役寿命。同时分立式天线间距可以随工作频率或放电工作气体的特征频率进行更改，具有良好的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 相位差 离子回旋共振加热 天线 | ||
【主权项】：
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