[发明专利]光刻机外围设备集成监测系统及监测方法有效
| 申请号： | 202110566978.4 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113406864B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 杨青;韩雍;谢华;陈欣健;高姝怿 | 申请（专利权）人： | 上海顺灏新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 肖进 |
| 地址： | 200331 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机外围设备集成监测系统，包括：监控PLC、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS、通讯模块、触摸屏和远程终端，所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数，监测运行状态；所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信；所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信。本发明对各个设备运行状态采集和监控，并实时显示。本发明还公开了光刻机外围设备集成监测系统的监测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 外围设备 集成 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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