[发明专利]一种晶振片防跳频镀膜工艺在审
| 申请号： | 202110569129.4 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113278922A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 殷海明 | 申请（专利权）人： | 东莞市长益光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/02 |
| 代理公司： | 东莞市冠诚知识产权代理有限公司 44272 | 代理人： | 张作林 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶振片防跳频镀膜工艺，晶振片放置于镀膜机的操作箱内进行加工，镀膜机设置有二氧化硅蒸发源，其镀膜的具体步骤为：步骤S1、启动镀膜机，镀膜机往操作箱内通入氩气形成无氧环境；步骤S2、真空镀膜机在晶振片的表面镀上第一层二氧化硅，第一层二氧化硅的厚度为4～5nm；步骤S3、完成第一层二氧化硅镀膜后，晶振片间隔冷却后，再在第一层二氧化硅的表面镀上第二层二氧化硅，第二层二氧化硅的厚度为20～30nm；步骤S4、完成镀膜，停止镀膜机，取出晶振片。本发明的有益效果是：本镀膜工艺采用相同的材料进行了二次镀膜，起到隔绝空气和保护晶振片的效果，镀膜后晶振片的频率在5.99MHz～5.995MHz，跳频情况明显改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶振片防跳频 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
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