[发明专利]高可靠性的电容式RF MEMS开关有效
| 申请号： | 202110570777.1 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113035650B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 向小健;杨德智;黄轩宇;白玉蝶;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高可靠性的电容式RF MEMS开关，包括基底、设于基底内部的驱动部件、设于基底上的滑动部件以及设于基底内的传输部件，滑动部件由驱动部件驱动运动，传输部件包括输入部和输出部，滑动部件于输入侧和输出侧之间运动。本发明提供的高可靠性的电容式RF MEMS开关，将传统的悬臂梁式的电容开关改为面内滑动式，利用滑动部件与传输部件之间耦合电容的变化，实现射频信号的通断，避免了由粘附力、冲击损伤、表面效应等引起的粘附失效问题，能够实现较高的使用寿命。同时，水平驱动方式可实现驱动部件与传输部件的空间解耦，显著提高开关的隔离度和操作功率，且解决驱动部件电路对传输部件信号输出的串扰问题。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 电容 rf mems 开关 | ||
【主权项】：
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