[发明专利]能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质在审
| 申请号： | 202110584900.5 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113433794A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 金泰完;权相民;金准基;朴惠贞;郑明教;郑熙锡 | 申请（专利权）人： | 吉佳蓝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;玉昌峰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质。具体地，根据本发明的一实施例可以提供一种能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；以及拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的一个以上基于由所述拍摄部识别到的所述定位标记以及所述定位键而移动并对准所述模具以及所述基板的水平位置，并且使得对准水平位置的所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将所述图案转印于所述树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 对准 图案 装置 制造 方法 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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