[发明专利]声表面波装置有效
| 申请号： | 202110587483.X | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113114159B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王阳;陆彬;曹庭松;吴洋洋 | 申请（专利权）人： | 北京超材信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海;袁礼君 |
| 地址： | 102600 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种声表面波装置，包括：压电基板；IDT电极，所述IDT电极包括多个IDT电极单元，所述多个IDT电极单元层叠设置在所述压电基板上，其中每个IDT电极单元包括：第一缓冲层，设置在所述压电基板上，所述第一缓冲层包括金属钛或铬中的至少一种，在将所述IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述第一缓冲层的厚度为0.5％λ以下；第一金属层，设置在所述第一缓冲远层离所述压电基板的表面上，所述第一金属层包括铝,所述第一金属层的厚度范围在1％λ‑30％λ之间。根据本发明的声表面装置，能够提高铝的抗电迁移能力，在提高声表面波装置的最大耐受功率的同时，还可以提高声表面波装置的耐久性，并且能够兼顾声表面波装置的频率特性，避免声表面波装置的频率随温度变化漂移比较大，增强温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 装置 | ||
【主权项】：
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