[发明专利]掩模制造设备和使用该掩模制造设备制造掩模的方法

摘要

提供了掩模制造设备和使用该掩模制造设备制造掩模的方法，所述掩模制造设备包括：第一台，掩模框架设置在第一台上，掩模框架包括在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上布置的单体开口；传输模块，将单体掩模放置在掩模框架上，以使掩模框架的单体开口分别与单体掩模叠置；相机模块，拍摄单体掩模；第一处理模块，在边界部分与第N单体掩模的第一边缘区域之间照射第一激光束，边界部分与掩模框架的和第N单体开口相邻的部分对应，第一边缘区域设置在边界部分上；以及第二处理模块，向第一边缘区域与第二边缘区域之间的边界区域照射第二激光束，第二边缘区域从第一边缘区域延伸。N是自然数。