[发明专利]制造半导体器件的方法和由此制造的半导体器件在审
| 申请号： | 202110592173.7 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113380703A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈重辉;谢正祥;陈万得;张子敬;陈威志;沈瑞滨;傅敬铭 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/822 | 分类号： | H01L21/822;H01L27/06 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 制造基于双架构兼容设计的半导体器件的方法包括：在晶体管(TR)层中形成晶体管组件；并执行制造附加组件的以下操作中的一种(A)埋入式电源轨(BPR)类型的架构，(B)非埋入式电源轨(非BPR)类型的架构。步骤(A)包括，在相应的sub‑TR层中形成各个非伪sub‑TR结构，以及在相应的supra‑TR层中形成各个伪supra‑TR结构，该伪结构是相应的第一伪像。步骤(B)包括，在相应的supra‑TR层中形成各个非伪supra‑TR结构，并形成各个伪supra‑TR结构，该伪结构是相应的第二伪像，第一和第二伪像由双架构兼容涉及产生，适合于适应BPR类型的架构。本申请的实施例还涉及半导体器件。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 半导体器件 方法 由此 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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