[发明专利]一种镀膜载体和利用其增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法在审
| 申请号： | 202110593840.3 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113611640A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 黄金;王继磊;杨立友;白焱辉;鲍少娟;杨骥;李莎;贾慧君;郭磊;孔青青 | 申请（专利权）人： | 晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18;H01L31/20;C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 赵徐平 |
| 地址： | 030600 山西省晋中市山西综改*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜载体，包括载体本体和盛放硅片的多个放置部，放置部沿载板本体纵向和横向均匀分布；放置部包括第一框体和第二框体，第一框体设于第二框体外侧；第二框体内侧壁上相对设置多个支撑点；并公开增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法：(1)将晶体硅片进行制绒、清洗；(2)在晶体硅片的正面制备双本征非晶硅层，然后制备双掺杂非晶硅层；(3)将制备后的双掺杂非晶硅层的硅片放置于镀膜载体的放置部上，然后分别在双掺杂非晶硅层上制备得到导电薄膜层和掩膜区域；(4)在导电薄膜层上通过丝网印刷的方式形成金属电极。采用本发明中的镀膜载体，应用到后续的镀膜方法中能够增大TCO镀膜面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 载体 利用 增大 异质结 太阳能电池 tco 面积 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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