[发明专利]线性位移校正方法及使用线性位移校正方法的检测设备在审
申请号: | 202110598294.2 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN114166163A | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 邹嘉骏;王人傑;林佳民 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/02 | 分类号: | G01B21/02;G01B21/04;G01B11/02 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 谢琼慧;孙金瑞 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种线性位移校正方法,包括下述步骤:通过位移传感器量测移动件沿直线方向移动的位移,以获得多个第一量测距离,通过校正量测装置量测移动件沿直线方向移动的位移,以获得多个第二量测距离;根据第一量测距离及第二量测距离建立相对关系对照表,以使第一量测距离分别与第二量测距离相对应;及由相对关系对照表中获得各第一量测距离所对应的第二量测距离作为校正距离。因此,能提升校正的速度及效率。本发明还提供使用上述线性位移校正方法的检测设备。 | ||
搜索关键词: | 线性 位移 校正 方法 使用 检测 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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