[发明专利]一种晶圆端面精磨装置有效
| 申请号： | 202110634014.9 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113246004B | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李健儿;冯永;张正;胡仲波;鲜贵容 | 申请（专利权）人： | 四川上特科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/02 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 曹宇杰 |
| 地址： | 629200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶圆端面精磨装置，包括：支撑体、支撑组件、进料组件、转取组件、转移组件以及精磨组件。进料组件用于多个晶圆的放置，以及带动多个晶圆向内运动，转取组件用于夹持位于进料组件内的单片晶圆，并带动单片晶圆向转移组件运动，转移组件用于夹持被转取组件夹持的单片晶圆，并带动单片晶圆向精磨组件运动，以及用于单片晶圆的翻面，精磨组件用于多片晶圆的端面精磨。本发明方便进行晶圆的端面抛光操作，在进行晶圆的端面抛光中，方便进行晶圆的自动化进料，方便进行晶圆的自动化转移，方便进行晶圆的自动化翻转，方便进行晶圆的自动化放置，方便自动进行晶圆的端面磨抛操作，提高了晶圆端面抛光的自动化程度，提高了晶圆端面抛光的效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 端面 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川上特科技有限公司，未经四川上特科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110634014.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种通过聚合后修饰构建多组分聚合物方法
- 下一篇：一种单发动机多功能抑尘车
