[发明专利]一种用于真空密封的石英产品的加工方法有效
| 申请号： | 202110634594.1 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113414890B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 邹琴;杨军;房玉林 | 申请（专利权）人： | 江苏富乐德石英科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B24B7/22;B08B3/12;B08B3/08;C07C51/09;C07C59/68;C11D1/06 |
| 代理公司： | 合肥锦辉利标专利代理事务所(普通合伙) 34210 | 代理人： | 陈铄 |
| 地址： | 224200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空密封的石英产品的加工方法，涉及高纯石英加工领域，通过将高纯石英材料线切割、平面研磨、加工中心加工、平面研磨、加工中心加工及面抛光、脱脂洗净、煮沸洗净、超声波洗净、化学洗净、包装，得到的石英产品表面外观状态良好，石英产品的关键真空面得到有效保证，工艺路线简单，尺寸精度高，可批量制造，能够满足目前半导体行业设备需求；该加工方法中通过将石英粗品放置于洗涤液中进行化学洗净，洗涤液由洗涤助剂溶于水中制成，洗涤助剂的分子是一种四个苯环、三条疏水长链的分子结构，表面活性高，能够将油脂、灰尘、金属离子脱离石英粗品表面而进入水中，使得该石英产品表面洗涤的充分，洁净度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 密封 石英 产品 加工 方法 | ||
【主权项】：
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