[发明专利]推拉控制设备和扩散炉系统在审
| 申请号： | 202110635720.5 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113340125A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 刘大力 | 申请（专利权）人： | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 宋江 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供的推拉控制设备和扩散炉系统，涉及半导体器件生产技术领域。在本申请中，推拉控制设备用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，推拉控制设备包括步进电机、电机驱动器、可编程控制器、第一继电器和终端控制设备。终端控制设备用于根据设定触发信号控制第一继电器输出第一控制信号给可编程控制器，可编程控制器基于第一控制信号输出第一脉冲信号给电机驱动器，电机驱动器基于第一脉冲信号驱动步进电机带动推拉舟运动出扩散腔室。基于上述设置，可以改善现有技术中半导体器件的生产效率较低和产品质量不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 推拉 控制 设备 扩散 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林麦吉柯半导体有限公司，未经吉林麦吉柯半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110635720.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
