[发明专利]温度检测装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110637531.1 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113355639B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 李元星;刘金彪;肖昂;罗楠;晋亚杰;胡斌;加新星;刘文豪;周杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种温度检测装置及蒸镀设备，其中，温度检测装置，包括第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。由于连接选择单元可以通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接，就可以在工作腔不停机的情况下来定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 检测 装置 设备 | ||
【主权项】：
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