[发明专利]一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法有效

专利信息
申请号: 202110638460.7 申请日: 2021-06-08
公开(公告)号: CN113245973B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 唐志国;徐建民;张勇;丁洁;张立强;陈永宏;王玉会;王亮;崔立志;李慷;张梦营;周如永;杨铁生 申请(专利权)人: 唐山国芯晶源电子有限公司
主分类号: B24B19/22 分类号: B24B19/22;B24B49/00
代理公司: 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 代理人: 雷秋芬
地址: 064100 河北*** 国省代码: 河北;13
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法,其操作步骤为:a、新游轮清洗,晾干;b、利用数显千分尺测量每一片游轮的厚度,并将游轮分类为初检合格品和不合格品;c、对初检不合格品进行修磨,再利用数显千分尺进行厚度测量;d、重复步骤b、c,至全部游轮均为初检合格品;e、利用万级电子天平对上述游轮逐个称重,将初检合格品游轮分档;f、对同一档次的每一副游轮整体进行修磨;g、清洗晾干,用万级天平进行称重,符合要求的游轮副经数显千分尺进一步验证后整体标识、密封保存;h、对步骤g中判定的不符合要求的游轮副,重复整体修磨步骤和称重检测步骤后整体标识、密封保存。本发明提高了游轮修磨精度,从而提高了石英晶片的产品质量。
搜索关键词: 一种 石英 晶片 抛光 游轮 厚度 检测 方法
【主权项】:
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