[发明专利]一种蒸发源装置在审
| 申请号： | 202110645989.1 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113416932A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张耀辉;宗璐 | 申请（专利权）人： | 合肥联顿恪智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 泉州企记知识产权代理事务所(普通合伙) 35264 | 代理人： | 许寿宁 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发源装置，包括可加热的容器和对容器进行加热的加热源，所述容器具有一开口，其开口处具有一用于封住开口的顶盖，所述顶盖中部具有一连通容器内部的通道，该通道构成一喷嘴，所述顶盖内具有若干层沿顶盖轴向布置且环绕在通道周侧的反射板。所述通道上部呈上大下小的敞口状。所述反射板具有环绕通道的通孔，所述反射板的通孔的口径从上至下依次减小。本装置喷嘴不易堵塞、使用安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
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