[发明专利]一种精密光刻机的震荡抑制承接座在审
| 申请号： | 202110649299.3 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113341660A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 商富彬 | 申请（专利权）人： | 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 盐城创佳智科专利代理事务所(普通合伙) 32476 | 代理人： | 乔岳标 |
| 地址： | 224100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种精密光刻机的震荡抑制承接座，包括呈一字形顺次排开的前端分座、中部主体座、末端维护座；前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；中部主体座，固定设置于工作场地；末端维护座，固定设置于工作场地，所述末端维护座的侧边紧贴所述中部主体座的侧边，且所述末端维护座与前端光源分座分列在所述中部主体座的两侧，所述末端维护座的上表面用于固定晶圆处理装置。本发明提供的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，针对性的采用双固定结构，提供能够满足光刻机固定安装的配套承接座，以确保光刻机能够稳定精密的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 光刻 震荡 抑制 承接 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏瑞鑫集成电路设备有限公司，未经江苏瑞鑫集成电路设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110649299.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种烹食机构
- 下一篇：一种基于磁悬浮技术的基座
