[发明专利]一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置在审
| 申请号： | 202110653575.3 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113552388A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 孙魄 | 申请（专利权）人： | 安徽工业大学 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02 |
| 代理公司： | 天津垠坤知识产权代理有限公司 12248 | 代理人： | 王忠玮;赵玉琴 |
| 地址： | 243000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，包括箱体、气密性检测机构、强度检测机构、夹持机构和旋转机构，所述气密性检测机构设置于箱体的顶部，所述强度检测机构设置于箱体内腔的下端，旋转机构设置于箱体的底部。本发明通过气泵和输气管构成了气密性检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性进行检测的效果，通过气缸、固定杆、限位环、固定架、固定环和敲击锤构成了强度检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性和强度进行检测的效果，实现了对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的目的，提高了装置的创造性和使用性，增强了使用者的使用体验，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灯丝 扫描 电子显微镜 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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