[发明专利]一种OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺

摘要

本发明公开了一种OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺，包括风干机构、风干箱体、中转搬臂、中转平台及下料搬臂，风干箱体包括二组，分别沿物料传输方向平行间隔地设置于机架上，形成双风干通道；风干机构包括两组，两风干机构分别设置在风干箱体内，风干机构包括风干载台、风干搬臂及风干组件；中转平台间隔风干箱体设置于机架的后端，中转搬臂跨设在风干箱体与中转平台之间；下料搬臂设置在中转平台的侧部，并向外延伸出机架。本发明采用双风干通道与单次多片风干方式，有效地提升了风干效率，采用镂空式真空承载及搬移结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，采用可调式OLED及FPC独立吸附结构，适用于多种OLED及FPC稳定搬移。