[发明专利]耦合至一个或多个光电检测器的多个波导在审
| 申请号： | 202110659357.0 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113804291A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | H·贾德森;卞宇生;A·D·斯特里克;C·米格尔;米歇尔·拉科斯基 | 申请（专利权）人： | 格芯（美国）集成电路科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G02F1/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及耦合至一个或多个光电检测器的多个波导，提供用于光电检测器的结构，以及制造用于光电检测器的结构的方法。光电检测器可具有由锗组成的光吸收层。波导芯可耦合至光吸收层。波导芯可由介电材料，例如氮化硅，组成。另一波导芯可由不同材料，例如单晶硅，组成，其可耦合至光吸收层。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合 一个 光电 检测器 波导 | ||
【主权项】：
暂无信息
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