[发明专利]末端执行器的位移测量方法及装置在审
| 申请号： | 202110665767.6 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113799172A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 金湳芢;朴镇成;宋根荣;金仁哲;徐秉国;金日星;朴诚淳;郑义三 | 申请（专利权）人： | SKC索密思株式会社 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 崔龙铉;安玉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种末端执行器的位移测量方法及装置。根据一个方面的通过半导体设备的装载锁定门的末端执行器的位移测量方法可以包括以下步骤：在所述末端执行器通过所述装载锁定门时，测量所述末端执行器的垂直方向的第一位移和水平方向的第二位移；基于测量的所述第一位移计算所述末端执行器的俯仰角和翻滚角的变化；以及基于测量的所述第二位移计算所述末端执行器的偏航角的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 末端 执行 位移 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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