[发明专利]一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘有效
| 申请号： | 202110667887.X | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113565885B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 许志雄 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F16D1/08 | 分类号： | F16D1/08;F16B21/12;H01L21/683 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 蔡稷元 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种卡榫及具有其的真空马达式晶圆吸盘，具有卡榫的真空马达式晶圆吸盘包括卡榫、动力单元和吸盘本体，动力单元设置有容置凹槽，空心轴上设置有安装孔。卡榫的中部设置有避让轴段，沿着避让轴段的两端延伸设置有固定轴段，固定轴段与避让轴段之间设置有配合轴段，配合轴段的侧面至少对称设置有两个配合平面。卡榫通过配合平面安装在凹槽内，吸盘本体与动力单元之间是为上下套接的状态，吸盘本体由上至下的套接在动力单元的输出轴上。而通过避让轴段可以连通中心孔与吸盘本体上的真空气道，使得吸盘本体的顶面上具有吸附力。利用卡榫与凹槽的配合，以及凹槽、安装孔和吸盘本体顶面相互平行的设置，以保证配合精度，提高晶圆生产的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 真空 马达 式晶圆 吸盘 | ||
【主权项】：
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