[发明专利]一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统在审
| 申请号： | 202110673821.1 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113639631A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;郭芳;王福杰;任斌;姜鸣;胡耀华;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01D21/00 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于双轴MEMS微镜的视觉检测系统包括检测模块、图像收集模块、图像分析与检测模块、数据收集与处理模块、仪器模块、摄像机模块、信号采收集适配器模块、任意波形发生器模块，所述检测模块与图像收集模块相互连接，所述图像分析与检测模块与检测模块相互连接、所述数据收集与处理模块与检测模块相互连接、所述仪器模块与检测模块相连接，所述检测模块互相连接图像分析与检测模块，所述检测模块互相连接仪器模块，所述图像收集模块相连接摄像机模块。本发明采用了亚像元定位技术,系统具有较高的测量精度，应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性,测量速度快,检测简便,有较好的工程应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 视觉 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞理工学院，未经东莞理工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110673821.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
