[发明专利]一种多通道节能型半导体温控装置及半导体生产设备在审
| 申请号： | 202110678964.1 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113433983A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 胡文达;芮守祯;曹小康;靳李富;刘紫阳;冯涛;宋朝阳;李文博 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;F25B1/00;F25B43/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张建利 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多通道节能型半导体温控装置及半导体生产设备，涉及半导体技术领域，多通道节能型半导体温控装置包括制冷系统和至少两个循环系统，所述循环系统的入口与对应的所述第二换热器的第二出口连通，所述循环系统的出口与对应的所述第二换热器的第二入口连通。本发明提供的多通道节能型半导体温控装置，通过制冷系统可使循环介质的温度降低至‑45℃；升温过程利用压缩机排出的高温气体进入第二换热器进行热量交换，使得循环介质迅速升温，降低能源消耗；由于多个循环系统与一个制冷系统进行热量交换，减小了温控装置的体积，每个循环系统都可单独控制温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 节能型 半导体 温控 装置 生产 设备 | ||
【主权项】：
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