[发明专利]一种可变角度的固晶方法、系统及固晶机在审
| 申请号： | 202110679902.2 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113437005A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 曾逸;刘耀金 | 申请（专利权）人： | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/60 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人： | 于标 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种可变角度的固晶方法、系统及固晶机，该固晶方法包括：步骤1：根据摆臂的摆动角度，控制晶圆环旋转指定角度；步骤2：控制摆臂摆动至晶圆环位置，控制晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆；步骤3：控制摆臂摆动至基板位置，控制基板进行横向和/或纵向的移动，使基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上。本发明的有益效果是：本发明在不增加摆臂长度的情况下，使摆臂不是摆动180度，两个摆臂可根据设定的角度进行摆动，这样两个摆臂就可以不同时对基板一个点进行固晶，从而能够对宽度更大的基板进行快速固晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 角度 方法 系统 固晶机 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市卓兴半导体科技有限公司，未经深圳市卓兴半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110679902.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种动物饲料的制备方法及其应用
- 下一篇：一种球状工件输送用停歇控制调节机构
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
