[发明专利]一种刻槽设备和刻槽方法在审
| 申请号： | 202110680356.4 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN115489038A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 毛剑波;李杰;党朋飞 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种刻槽设备和刻槽方法，所述刻槽设备包括：用于容纳待加工件的加工舱、用于在所述待加工件上刻槽的刀具、用于夹持所述待加工件的夹持机构以及用于驱动所述夹持机构转动的驱动机构，其中，所述夹持机构、所述刀具均设于所述加工舱内，且所述夹持机构可相对所述加工舱转动；所述刻槽设备还包括：用于控制所述加工舱内的温度处于预设温度范围的温度控制装置，所述温度控制装置设于所述加工舱内。采用本发明实施例中的刻槽设备，可以提高待加工件刻槽的加工效率和加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 方法 | ||
【主权项】：
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