[发明专利]一种掩膜版有效

专利信息
申请号: 202110684536.X 申请日: 2021-06-21
公开(公告)号: CN113388809B 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 昝昱廷;何信儒;谢毅;李振华 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 代理人: 吴雪
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及显示技术领域,具体涉及一种掩膜版。该掩膜版包括板体,板体上设置有凸起部,凸起部为导电材质,凸起部用于与蒸镀材料接触,且凸起部贯穿蒸镀材料;综上所述,本申请采用凸起部贯穿蒸镀材料的设置形式,使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部为蒸镀材料上的电荷提供导出的路径,进而增加掩膜版的静电导出能力,从而减小与掩膜版接触的玻璃基板上的静电量,可以有效的防止因玻璃基板表面静电过大导致玻璃基板破碎或使得玻璃基板电路击穿造成短路等情况,与此同时,还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板形成的显示面板上出现暗点,或者玻璃基板由于其本身材质较薄,玻璃基板上的静电过大导致玻璃基板破片的情况。
搜索关键词: 一种 掩膜版
【主权项】:
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